台积电暂不确定是否采购ASML高NA光刻机 仍靠现有设备推进1.4nm制程

台积电正评估是否采购ASML价值4亿美元的高数值孔径（High-NA）EUV光刻机，以支持未来1.4nm（14埃）芯片的生产。然而高昂的成本使该决定暂未敲定。台积电高层指出，当前EUV设备仍具备产能潜力，尚无迫切升级理由。尽管三星等竞争对手已率先采购High-NA设备，台积电仍计划在2028年前推进1.4nm量产，并凭借现有技术保持竞争优势。该决策或将影响未来先进制程格局。